彩色滤光片的制程技术分析

　　彩色滤光片制造方法包括染色法、颜料分散法、印刷法、电镀法、喷墨法等，其中颜料分散法由于在颜色特性、质量、可度等方面均占有优势，因此成为目前彩色滤光片之主流制作方式，而所谓颜料分散法之彩色滤光片制造工程，包括黑色矩阵工程、RGB工程、后工程、出货工程，首先在黑色矩阵工程，是先在无碱之硼玻璃基板上以溅镀形成氧化铬/铬之低反射二层膜，作为基板使用，此低反射二层膜即称为Metal Black，然后再将Metal Black侧之正型光阻以旋转涂布，再经由黑色矩阵的光罩图案，照射紫外线并加以曝光、光阻显影后，将Metal Black蚀刻，形成黑色矩阵(BM)图案，之后在黑色矩阵之图案形成后，接着再到RGB工程，所谓RGB工程就是在开口部形成R、G、B三色图案的工程，首先将着色为R的彩色光阻以Spin涂装，经由R用图案光罩，照射紫外线并曝光。再使用碱性系显影剂将未曝光部份去除，形成颜色用的R图案，再施于200℃以上的后烤，使图案具有耐药性，接着以形成R图案相同的工程重复在G及B上，各图案之间均有黑色矩阵加以隔开，此功能是为增加显示时之对比度及避免杂色光产生。接着在后工程方面，是形成TFT Array基板之相对电极的ITO透明电极层，即为彩色滤光片，最后，出货工程即为最终检查及捆包。

　　彩色滤光片制程技术关键须注意的是RGB三色间的段差，段差会影响到液晶表现，段差如过大则显示会有断层产生，另外，RGB工程为高温制程，因此原材料选择须有耐药性不会发生衰退，再则BM主要为隔绝RGB三颜色，为提高颜色对比的关键，且BM一般均要求低反射，反射愈低愈好，色彩表现也会愈好。