谈谈激光核心光学元件的抗损伤阈值测试

　　光学薄膜激光损伤阈值测试依据标准ISO建立，主要用于薄膜或光学元件表面强激光承受能力的测试。可进行光学元件或薄膜激光损伤阈值及损伤斑的测试；激光预处理，提高薄膜的激光损伤阈值。仪器使用简单，测试方便，实现了数字化、集成化、智能化。基本功能模块包含散射判别模块与图像判别模块；扩展功能模块包括复核校验模块、光谱分析与判别模块、声谱分析与判别模块、质谱分析及判别模块。

　　该测试系统主要有以下优势：

　　首先，相互补充、互为校对的多种损伤判别方法。每种损伤判别方法都有一定的局限性和应用范围，单一的损伤判别方法难以对不同厚度、不同膜系的薄膜均做出准确的判别。本套系统集成了多种检测方法：图像检测、散射检测、光谱检测、声谱检测等，这些方法相互补充、互为校对，拓展了测试对象的应用范围，为整体系统的测试稳定提供了有力保障。

　　其次，高倍率的样品在线检测复核系统。由于工作距的限制，目前测试系统中图像判别法采用的CCD放大倍率只能达到50倍以下，不满足标准规定的100倍的要求。对此，系统配备了高倍变焦显微镜校验系统，方便用户在不影响测试过程，不拆卸样品的情况下，对损伤点的实际情况进行在线复查，保证了对准精度。另外，双波长共光路的系统设计。仪器具有单波长和双波长两种类型。针对双波长测试仪，采用两台激光器，经过合色棱镜，合并在一束光路上，简化了光学系统结构，可对同一点，实现双波长激光的同时预处理。